簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "汪家昌".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="張復瑜"


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    1

    無光罩微影系統之解析度研究
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 方偉凱 指導教授: 鄭正元 張復瑜
    • 目前主流半導體製程仍採用實體光罩進行黃光微影,但實體光罩有易污染、成本高以及光罩更換與對準曝光等問題。為解決這些問題,本實驗室開發出特殊的無光罩顯微鏡微影系統,其特點為整合了顯微鏡與投影機這兩個不同…
    • 點閱:292下載:33

    2

    鋯基塊狀金屬玻璃模具熱壓製程數值模擬及轉印設備開發
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 葉豈廷 指導教授: 張復瑜
    • 微/奈米轉印技術是目前各界廣泛應用的新興技術,具有大量生產、低成本以及微奈米尺度解析度等優點。然而現階段此技術仍有模仁製作耗時且昂貴,以及難以被高效率使用的問題存在。近年來塊狀金屬玻璃(BMG)被證…
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    • 全文公開日期 2019/01/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    3

    飛秒雷射加工創新研究-內部結構型擴散片與矽基板裂片應用
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 邱婉玲 指導教授: 鄭正元 張復瑜
    • 飛秒雷射具有超短脈衝以及光能量密度極高的特性,且擁有特殊的光化學材料剝離機制。這些特性使其有別於一般雷射而有加工熱影響區小、加工尺寸精密度高、以及熱應力低所帶來的內部加工優勢。利用這些特點,本研究以…
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